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半導體等電子工業

返回列表 來源: 發布日期:2020-04-28

半導體等電子工業監測站解決方案

背景概述

半導體/電子工業是我國重點扶持和發展的領域,在生態環境保護方面,半導體/電子工業制造廠也在加大投入污染治理和污染物在線監控,以降低對生態環境和居民的影響。然而,半導體/電子工業制造廠的廢氣/煙氣排放煙囪很多,有酸性排口,堿性排口(NH3)和VOCs排口,每個Fab廠都有十到幾十個煙囪排口,而且酸性氣體多(HCl、HF、Cl2、H2SO4等)和VOCs種類多(非甲烷總烴、苯、甲苯、二甲苯、甲醛、三氯乙烯等),要對每個煙囪排口進行在線監測,就需要綜合考慮國際上先進的監測技術和建設經濟效益,選擇最優的解決方案。

行業類型:半導體等電子工業

主要監測因子:NH3、HCl、HF、Cl2、H2SO4、非甲烷總烴、苯、甲苯、二甲苯、甲醛、三氯乙烯等。


解決方案概述:博測環境提供的整體解決方案是采用非接觸式差分吸收光譜法(DOAS),使用一條光路貫穿整個管道。光束通過光纖傳輸到分析儀,而這個分析儀又同時監測幾個路徑。滿足同時監測全部排口,多種因子,包括了酸性氣體、堿性氣體和VOCs氣體。該方案采用了先進的光譜法(UV/IR)監測酸堿氣體和氣相色譜法(GC-FID)監測VOCs氣體。如下圖:


 


 


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